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  学科代码 080220
 
  英文名称 MEMS and Nano Technologies
 
  一、研究方向及主要内容简介
研 究 方 向
微机电系统集成设计与制造技术
 
  (08022001
 
  Integrated Design and Manufacturing Technology of MEMS
1MEMS集成设计技术
 
  2.系统级建模
 
  3.多域耦合分析
 
  4.微加工工艺模拟和工艺设计
 
  5.测量与控制电路技术
纳米机电系统与纳米机械
 
  (08022002
 
  NEMS and Nanomachines
1.纳米机电系统
 
  2.纳米结构的加工技术
 
  3.纳米机电系统的设计、分析与控制技术
纳米测量与虚拟仪器
 
  (08022003
 
  Nano Metrology and Virtual Instrument
1.虚拟仪器检测自动化
 
  2.动态检测与故障诊断技术
 
  3.精密测试与传感器技术
 
  4.纳米检测技术
 
  5.微结构图像测量与处理技术
微型制造系统及其相关技术
 
  (08022004
 
  Micro Fabrication System
1.微型制造系统
 
  2.激光微细加工技术
 
  3.微装配技术
 
  4.微机器人
/纳米生物医学信息技术
 
  (08022005
 
  Micro/nano Technology for Biomedical Engineering
1.生物医学用微纳米传感器
 
  2.生物医学用微纳米致动器
 
  3.生物医学信息的获取与操纵技术
 
  4.生物芯片
二、学分及课程学习要求
 
  总学分数2834,其中公共课8学分,基础理论课至少5学分,专业基础课至少6学分,专业课至少9学分
 
  1.公共课(8学分,必修)
课程编号
课 程 名 称
学时
学分
开课学期
考核方式
13M001
科学技术哲学
54
2.0
12
考试
13M002
科学社会主义的理论与实践
36
1.0
12
考试
13M003
英 语(一外)
144
4.0
12
考试
**M900
专业外语
40
1.0
3
考试
注:**M900代表各学院的专业外语必修课(其中**分别代表各学院代号)
 
 
  2.基础理论课(在下列课程中至少选5学分)
课程编号
课 程 名 称
学时
学分
开课学期
考核方式
11M001
矩阵论
60
3.0
1
考试
11M003
数值分析
60
3.0
1
考试
11M004
偏微分方程数值解法
60
3.0
2
考试
11M005
数理统计
60
3.0
1
考试
 
 
  3.专业基础课(在下列课程中至少选6学分,其中A必选)
课程编号
课 程 名 称
学时
学分
开课学期
考核方式
备注
08M001
现代数字信号处理
60
3.0
1
考试
 
11M007
光电子技术
60
3.0
1
考试
 
046001
功能材料性能与测试
40
2.0
2
考试
 
046007
薄膜材料与技术
40
2.0
2
考试
 
056008
传感器及测试仪器
40
2.0
1
考试
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