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主要研究内容是建立场发射(阵列)冷阴极的物理模型,以及场发射冷阴极应用于真空微电子器件中的电子光学系统模型。设计和研制满足不同应用(如微波功率放大器、微真空电子器件)性能要求的场发射冷阴极。
所学课程有:微电子加工原理与技术,薄膜电子学,阴极电子学、微波电子学、表面科学与真空技术,半导体工艺等。学生毕业后从事真空微电子学领域或微电子学领域的有关课题研制工作,为新一代真空微电子器件培养学科带头人。
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