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西北工业大学“微/纳米系统实验室”成立于1992年，是国内较早开展微机电系统（MEMS）研究的单位之一。目前实验室已经成为西北工业大学微机电系统与纳米技术方面博士、硕士研究生培养以及本科生创新设计培养的重要基地，具有较强的研究开发与人才培养实力。
依托“微/纳米系统实验室”建设和发展的“微机电系统与纳米技术”学科是机械工程一级学科博士点联合仪器科学与技术、光学工程、生物医学工程、计算机科学与技术等多个一、二级学科博士、硕士点建立起来的一个新兴、交叉、边缘学科，被列为国防科工委重点学科，西工大“十五”重点建设学科，国家“985工程”重点建设项目，现为机械工程一级学科博士学位授予权下属自设二级学科博士点。
实验室近年来共承担了国家自然科学基金（含重大专项）、863/MEMS重大专项、国防863项目、国防基础研究计划课题、省基金、部委基金，国际合作项目几十项；出版的系统、全面介绍微机电系统研究的专著“微机械与微细加工技术”被教育部选为研究生推荐教材，并在台湾地区发行。发表研究论文两百多篇，其中半数左右被SCI、EI等收录。
实验室面向航空航天航海，致力于实现装备的微型化、集成化、信息化；结合西部大开发，促进高新技术产业化，产、学、研相结合，开展微/纳米系统及其相关技术的研究。
主要研究方向为：微机电系统集成设计，微型智能结构与智能蒙皮，微型能源，微光学器件，微系统制造及其相关技术，应用微系统集成及其相关技术，纳米机电系统纳米检测技术。
微/纳米系统实验室下设有微机电系统集成设计研究室、应用微系统研究室、微/纳检测技术研究室等。实验室面积1000平米，含净化室500平米（其中净化等级100级的净化面积150平米），包括MEMS集成设计单元，硅基材料微细加工单元，准分子激光非硅材料微细加工单元，微/纳检测单元，净化与工作保障单元。现有和已经采购的主要设备包括：
l MEMS 集成设计平台
l 德国Suss公司光刻机
l 德国Suss公司键合机
l 英国STS公司等离子耦合刻蚀机
l 低压化学气相沉积
l 扩散炉
l 刻蚀清洗机
l 真空溅射镀膜机
l 反应离子刻蚀机
l 显微数码摄像系统及体视显微镜
l 薄膜厚度测量系统
l 微机械结构数字图象测量系统
l 涂胶/热板
l 显微干涉式表面轮廓仪
l 激光多普勒激光测振仪
l 划片机
l 减薄抛光系统
实验室积极开展国际学术交流与合作，现与法国贡比涅技术大学、香港城市大学、香港科技大学、美国麻省理工学院、加拿大NRC等有着良好的学术合作关系。
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